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●半導体工業におけるウエハーへのパターン焼付にはフォトレジストを使用します。  このパターン焼付作業室の照明光は500nm以下の波長成分の無いものが要求されております。  黄色蛍光ランプはこのような用途に最適な蛍光ランプで、ガラス内面に500nm以下の波長成分を  ほぼ完全にカットする黄色フィルタ層を設けその上に蛍光体を塗布した構造となっています。  また最近の半導体工業の進展はめざましく、より集積度の高いLSI、VLSIなどへ製品の中心が  移っております。このような集積度の高いより微細なパターン焼付に際しては500nm以下の波長  成分のより完全でより確実なカットが要望されてきました。また、半導体パターン焼付作業はクリーン  ルーム内で実施されていますがランプが破損するというアクシデントに際してもクリーンルーム内  に飛散しない飛散防止形が要望されています。このようなご要望を満足させるニュータイプとして  高信頼形・LSI用純黄色蛍光ランプをラインアップしました。

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この商品の情報

商品名
ジュンオウショクケイコウランプ 純黄色
商品コード
S248-4904323616589
価格
販売価格: 4,950
獲得予定ポイント: 45 ポイント
支払方法
クレジットカード 全額ポイント 銀行決済(ペイジー) コンビニ決済 Suicaネット決済 代金引換
購入限定数
100
型番
FHF32YFLSI
メーカー保証年数
対象外
本体サイズ(高さ×幅×奥行)
寸法管径25.5×寸法管長1198
本体重量
183グラム
口金
G13
定格ランプ電力
32
全光束
2300lm
定格寿命
10000時間

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